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面議型號
LPE碳化硅長晶爐品牌
產地
上海樣本
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采用感應/電阻式加熱方式，在不銹鋼腔體內以液相法生長SiC晶體，并可兼容物理氣相法(PVT)。
可提供半定制化服務
6 ~ 8英寸 碳化硅長晶爐 (感應式/電阻式）
晶體尺寸 6 ~ 8英寸
工藝 LPE
加熱方式 感應式/電阻式
基本參數 主機尺寸 W1450 x D1450 x H3900mm
整機重量 約2.2T
支持系統 電 源 容 量 50kVA（感應式）/ 280kVA（電阻式）
電 壓 380VAC±10% , 3P, 50/60Hz
冷 卻 水 壓 力 0.3 ~ 0.5MPa
流 量 ＞200L/min
工藝氣體 壓 力 ＞0.2MPa
壓縮空氣 壓 力 0.5~1.0MPa
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