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型號 | 564 | 686 | 8106 | 8126 | |
行程大小mm | X | 500 | 600 | 800 | 800 |
Y | 600 | 800 | 1000 | 1200 | |
Z | 400 | 600 | 600 | 600 | |
測量空間mm | Dx | 634 | 734 | 934 | 934 |
Dz | 144 | 144 | 144 | 144 | |
Dz1 | 594 | 794 | 794 | 794 | |
外形尺寸mm | Lx | 1050 | 1150 | 1350 | 1350 |
Ly | 1535 | 1735 | 1935 | 2135 | |
Lz | 2247 | 2647 | 2729 | 2729 | |
平臺 | Ph | 783 | 783 | 805 | 805 |
Py | 1155 | 1355 | 1555 | 1755 | |
支撐 | Sy | 824 | 978 | 1178 | 1378 |
Sy1 | 356 | 379 | 379 | 379 | |
承重kg | 300 | 300 | 500 | 500 | |
機器重量kg | 590 | 730 | 730 | 1196 | |
MPEe（μm） | 2.8+L/200 | 3.0+L/200 | |||
MPEp（μm） | 3.5 | 4 | |||
光柵尺分辨率μm | 0.5 | ||||
空間移動速度mm/s | 520 | ||||
空間移動加速度mm/s | 1530 | ||||
流量/供氣壓力 | 120N1/mm 0.4Mpa | ||||
溫度 | 20±2℃ | ||||
濕度 | 45%-75% | ||||
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