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| Side profile of a UHV Cryogenic Probe Station | High Conductance 8” Vacuum Pump Out Port |
美國ARS公司的 PS-L-UHV探針臺是專為樣品的非破壞檢測和**的真空潔凈而設計，測試靈活，廣泛應用于直流（DC），射頻（RF），MEMS， 納米電子，超導性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。
液氦/液氮型和閉循環低溫探針臺核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探針臂。如果您先購買了液氦/液氮型的探針臺，那么可以在之后的任何時間內升級成一個閉循環（無任何制冷劑）的系統。
該類探針臺使用了ARS液氦/液氮型低溫恒溫器，樣品溫度因制冷劑不同可達~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。
| Sample space of the UHV probe station. | Close-up view of the Load-lock sample holder and 4 DC probes |
該系統旨在提供一個大型的，可烘烤的超高真空樣品環境。真空腔由不銹鋼焊接而成，防熱輻射屏由裸無氧銅制成。銅的高導熱性使得樣品空間處有更冷的防熱輻射和更大的凈制冷量。高質量的焊接刀口法蘭和巨大的泵出端口是至關重要的，因為這樣可以實現真正的10-11 Torr的超高真空環境，并**程度保證了樣品的潔凈度。
ARS既生產冷頭又生產探針臺的一站式生產確保了系統的穩定性能，也利于系統的診斷和售后服務。
應用案例：
l 電磁特性
l 微波特性
l 低頻，高頻特性
l MEMS
l 納米電子學
l 超導特性
l 納米器件光電性能
l 量子點及納米線
l 單電子
l 低電流物理特性
典型結構
l 液氦/液氮型低溫恒溫器
l 傳輸管線-標準6英尺（8英尺或者10英尺）
l 流量計
l 10英寸的不銹鋼真空腔帶5個微操作探頭端口和2個備用的NW80附件端口，安裝在經陽極化處理的鋁臺面上，由鋁制支撐架支撐
l 8 英寸的鍍鎳無氧銅防熱輻射屏
l 2.25英寸的無氧銅接地樣品座
l DC， 微波或光纖探針
l 4個溫度計和2個加熱器用于溫度控制和監視
l 渦輪分子真空泵
l 四通道溫度控制器及與恒溫器連接電纜
l 7:1變焦顯微鏡，分辨率小于2 微米，同軸或者環形光。包括一個高分辨的24寸的寬屏液晶顯示器和顯微鏡光源
特點 | 備注 |
8英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 | |
2.25英寸鍍金無氧銅樣品臺 | 可升級4英寸樣品臺 |
高純石英觀察窗 | |
藍寶石防熱輻射屏冷窗 | |
標配4個三維微操作探針臂，可選6-8個 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統：高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計（±12mK）、加熱器 | 溫度計安裝位置： 1、冷頭溫度計，用于診斷 2、樣品臺溫度計及加熱器，用于控制樣品臺溫度，實現精確控溫 3、樣品溫度計，用于精確測量樣品溫度 4、冷屏溫度計及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實現快速換樣 |
樣品臺綜合振動 < 1微米 | 樣品臺振動 < 100nm |
7:1顯微觀測系統，3微米分辨率，環形光源 | 可升級16:1顯微觀察系統 |
規格及技術參數 | |
制冷方式 | 開環恒溫器，液氦/液氮 |
溫度范圍 | 液氦~3.5K - 400K（**流量）(可選500K，800K) 液氮~77K - 400K(可選500K，800K) |
溫度穩定性 | 優于50mK |
泵抽真空時間 | 機械泵約45分鐘 分子泵約10分鐘 |
降溫時間 | 約30到45分鐘降溫到4.5K |
真空腔 | 焊接法蘭，不銹鋼真空腔 直徑11.97英寸（304mm） 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 直徑8英寸 上蓋藍寶石冷窗 |
樣品臺 | 鍍金無氧銅樣品臺 2.25英寸直徑 |
樣品臺連接 | 接地（標準） 絕緣（可選） 偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選） 偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選） |
探針臂位移臺 | 手動驅動 焊接刀口法蘭的不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標準） 2英寸行程（可選） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動 | 樣品臺綜合振動優于1微米 |
溫度計安裝 | 4個溫度計，2套加熱器 4個溫度計位置： 1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個DT-670B-SD安裝于樣品臺底部用于控溫 1個DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個校準型DT-670-CU-4M溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近，用于精確測溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統快速升溫 |
顯微觀測系統 | 標準7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離：89毫米 數值孔徑：0.024-0.08 光源：環形光源 分辨率：3微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離：89毫米 數值孔徑：0.0090-0.15 光源：環形光源 分辨率：2微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭：三同軸接頭 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 卡爾文探針 電纜：同軸或三同軸 接頭：SMA/BNC/三同軸 頻率：0-100兆赫茲 針尖材料： 鎢針（標準） 鍍金鎢針（可選） 鈹銅鍍金（可選） 針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選） |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭：K型接頭 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見 或 可見/紅外 接頭：SMA905公頭 光纖樣品端：拋光裸頭 尺寸：100微米-400微米 |
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