1．技術特征
?高倍率雙目雙視場顯微鏡和 22 英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并提供 USB 輸出；既滿足高精度對準，又
可用于檢測曝光結果，且曝光結果和方便存儲
?采用倒置式照明，更換汞燈更方便，散熱和防漏光效果更好
?對準位和曝光位雙工位工作，雙工位自動切換
?采用嵌入式計算機+觸摸屏操作，操作更方便，更時尚
?上下片、版十分方便，自動化程度高，操作簡便。對高校教學科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)尤為適宜
2．技術參數
?曝光面積：100mm×100mm（可升級為 6 英寸）
?曝光波長：365nm
?分辨力：≤1 μm（膠厚 1.5 μm 的正膠）
?對準精度：±0.6 μm
?顯微鏡掃描臺運動范圍：X：10mm;Y:10mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm（各種不規則片），厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
?具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能30
?照明不均勻性： 3%（±100mm 范圍）
?雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學**倍數 400 倍，
光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
?曝光對準雙工位自動切換
?調平接觸壓力通過傳感器保證重復
?數字設定對準間隙和間隙
?具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
?掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6o
?**焦厚：400 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3 o
?曝光能量密度：>25mW/cm2，照明面溫度<35 oC
?單層曝光一鍵完成
?采用球氣浮+三爪找平
?汞燈功率：350W（直流，進口）
3．外形尺寸：1400mm（長）±900mm(寬) ±1500mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調節臺
?冷卻風扇
?光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、
冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
?光刻機底座
?工位切換臺（氣缸）
?掩模樣片整體運動臺
?掩模樣片相對運動臺
?轉動臺
?樣片調平機構，三點自動完成
?樣片調焦機構，電機自動調
?基片抽拉式上下機構
?承片臺 4 個：?15mm 、?40mm、?60mm、?100mm（可按用戶要求增減）
?掩模夾 4 個：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）
?樣片抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡
?光源、 電源
?雙目雙視場對準顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD 對準系統，22 寸液晶顯示器
（4）電控系統
?汞燈觸發電源(350W 直流汞燈)
?單片機控制系統
?控制面板
?控制柜桌
（5）氣動系統
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
?電磁閥驅動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?空壓機一臺
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻機
1．技術參數
?曝光面積：4 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：1 μm（膠厚 2 μm 的正膠）
?對準精度：±0.8μm
?掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm(各種不規則片)，厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
?照明不均勻性： 3%（ ±100mm 范圍）
?雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學**倍數 400 倍，
光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
?掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6o
?**焦厚：350μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面溫度<35 o
?汞燈功率：350W（直流，進口）
2．外形尺寸：1200mm（長）?900mm(寬) ?1750mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調節臺
?冷卻風扇
?光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
?掩模樣片整體運動臺
?掩模樣片相對運動臺
?轉動臺
?樣片調平機構， 手動
?樣片調焦機構，手動
?承片臺 3 個（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）
?掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?基片抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、 電源
?雙目雙視場對準顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD 及 21 英寸液晶顯示器
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
（4）電控系統
?汞燈觸發電源(350W 直流汞燈)
?單片機控制系統
?控制箱
（5）氣動系統
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
?電磁閥驅動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?空壓機一臺
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻機（臺式）
1．技術參數
?曝光面積：4 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：1.5μm（膠厚 2 μm 的正膠）
?對準精度：±1μm
?掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm，厚度 0.1mm--6mm(可擴展為 15mm)
?曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
?照明不均勻性： 5%（±100mm 范圍）
?雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學**倍數 400 倍，
光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
?掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?汞燈功率：200W（直流）
?曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長）±600mm(寬) ±900mm（高）36
3．配置
（1）曝光頭
?200W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調節臺
?光學系統
?冷卻風扇
（2）對準工件臺
?掩模樣片整體運動臺
?掩模樣片相對運動臺
?轉動臺
?樣片調平機構，手動
?樣片調焦機構，手動
?承片臺 3 個（?50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
?掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?掩模抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、電源
?雙目雙視場對準顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD（臺灣）
?21 寸液晶顯示器
（4）電控系統
?汞燈觸發電源(200W 直流汞燈)
?單片機控制系統
?控制機箱
（5）氣動系統
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
?電磁閥驅動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?管道
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