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PHI 06-C60型離子槍

簡(jiǎn)介

PHI06-C₆₀型離子槍設(shè)計(jì)獨(dú)特，適用于多種有機(jī)物和聚合物材料表面低損傷的清潔和濺射深度剖析。該離子槍產(chǎn)生C₆₀離子束，經(jīng)過韋恩過濾器過濾。一旦C₆₀離子束轟擊到樣品表面，其初始動(dòng)能就會(huì)分配到60個(gè)碳原子上。導(dǎo)致樣品表面能量級(jí)聯(lián)形成高效率濺射過程且對(duì)樣品化學(xué)成分造成的破壞*小。而Ar離子束濺射對(duì)有機(jī)物和聚合物造成化學(xué)破壞比較嚴(yán)重，06-C₆₀型離子槍在當(dāng)前的儀器設(shè)計(jì)中，包括Quantera SXM和VersaProbe，作為一種配置選項(xiàng)，該離子槍也可經(jīng)過改裝用于多種Ulvac-Phi Quantera和PHI 5000系列的XPS儀器。另外，該離子槍的控制器和掃描控制單元均由計(jì)算機(jī)控制。

圖1 - PHI 06-C₆₀ 10kV - C₆₀型離子槍

應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

兩片被硅氧烷污染的PET 薄膜，分別用500 V Ar 離子束和10 kV C₆₀離子束濺射。用 Ar 離子束濺射1 nm后，PET的C 1s譜圖中看到明顯化學(xué)破壞；用Ar離子束濺射20 nm后，PET的C 1s譜圖中看到劇烈化學(xué)破壞。而與之對(duì)應(yīng)C₆₀離子束濺射20 nm后，PET的C 1s譜圖中看到化學(xué)成分幾乎與未濺射表面沒有區(qū)別。

圖2 - PET 表面的C 1s高分辨譜隨濺射深度變化的關(guān)系 (a) 500 V Ar 離子束 (b) 10 kV C₆₀離子束。C 1s 譜表明經(jīng)500V Ar 清潔后出現(xiàn)嚴(yán)重的化學(xué)成分破壞