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PECVD系統就是為了使傳統的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應，所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統（PECVD）。
該型號PECVD為成儀**款，綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發的實驗電爐AIO全自動智能控制系統，使得操作更加簡便，功能更加強大。
主要特點：
1. AIO控制系統——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統一集中調節和操控，協調控制——成儀AIO控制系統；
2. 管內壓力自動平衡——管內壓力實時監測，自動平衡管內壓力。
3. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力；
4. 射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間，自動運行；
5. 爐膛移動速度可調——根據實驗要求，用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離；
6. 整機結構融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。
技 術 參 數
移動端
工商已核實
PECVD系統管式爐的工作原理介紹？
