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先進的功能特性：
● 靈活的電極設計保證了工藝的均勻性
● 使用Windows系統的工業計算機控制
● 觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）
● 菜單驅動式工藝過程
● 繪圖和自診斷功能
● 以太網通訊功能
● 節能模式
● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能
● 安裝簡單快捷
規格參數
工作腔室材料： 鋁
容積： 36.5 升
內部尺寸： 229 x 330 x 483 mm
可選電極
● 可抽卸的多層電極板
● 垂直電極
● 3層溫控電極
● 低微粒電極
● 次級等離子體電極
工藝氣體
質量流量控制計： *多至6路氣體
工藝壓力： 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間： 大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣： 可調
射頻發生器： 風冷13.56MHz,600 瓦(標準配置)
供給需求電源： 220V 單相,2.3 KW, 50Hz
工藝氣體： 輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體： 輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣： 輸入壓力 4-6 bar
尺寸： 寬/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量： 約157千克（不含泵）
可選項
● 壓力控制器
● 1%精度的真空規
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點檢測器
● 300 瓦13.56 MHz射頻發生器
● 水冷機
● 單體處理裝置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 氣相MFC
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